쌍정결함밀도의 평가방법

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요약 : 본 발명은 고가의 복잡한 장비를 사용하지 않더라도, 비숙련자에 의해서도 표준화된 방법에 의해 대면적 단결정 시료 중 쌍정결함밀도를 정량적으로 평가할 수 있는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는단결정 시료 중 쌍정결함밀도를 평가하는 방법에 있어서, (A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계; (B) 쌍정결함에 의한 바 형태의 에치핏을 선별하는 단계; 및 (C) 상기 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이로부터 하기 수식에 의해 쌍정결함밀도를 평가하는 단계, 쌍정결함밀도 = ∑kx’i/시료의 면적, 이때, 2≤k≤3이고, x’i는 i번째 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법에 관한 것이다.

대표청구항 : 단결정 시료 중 쌍정결함밀도를 평가하는 방법에 있어서,(A) 단결정의 관찰면을 에칭하여 에치핏을 형성하는 단계;(B) 쌍정결함에 의한 에치핏을 선별하는 단계; 및(C) 상기 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이로부터 하기 수식에 의해 쌍정결함밀도를 평가하는 단계,쌍정결함밀도 = ∑kx’i/시료의 면적(이때, 2≤k≤3이고, x’i는 i번째 쌍정결함에 의한 에치핏의 장축방향 길이);를 포함하는 것을 특징으로 하는 쌍정결함밀도 평가 방법.

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