영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 방법 및 그 제어 시스템 Method and System for detecting failure in circuit using image information

출원번호 : 10-2013-0026660 (2013년03월13일)

등록번호 : 10-1461418 (2014년11월07일)

특허권자 : 한밭대학교

요약 : 본 발명은 영상 정보를 이용한 회로의 불량 검출 제어 방법 및 그 시스템에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회로
의 기준 영상 및 검사 영상을 획득하여, 상기 검사 영상의 히스토그램(histogram) 극치를 보정하는 히스토그램
보정 단계(S100), 히스토그램 극치를 보정한 상기 검사 영상의 공간 위치를 보정하여 상기 기준 영상과 공간 위

치를 일치시키는 공간 위치 보정 단계(S200), 획득한 상기 기준 영상을 이진화하고, 이진화한 상기 기준 영상과
공간 위치를 일치시킨 상기 검사 영상과의 차영상을 구하는 차영상 획득 단계(S300), 상기 차영상에서 가장 큰
왜곡을 갖는 화소 위치를 기준으로 침식(erosion) 연산과 팽창(dilation) 연산을 적용하여 상기 검사 영상의 이
물 영역을 추출하는 이물 영역 추출 단계(S400) 및 상기 검사 영상의 이물 영역을 이용하여 특성 파라미터를 추
출하고, 상기 회로의 불량을 판단하는 불량 검출 단계(S500)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 영상 정
보를 이용한 회로의 불량 검출 방법에 관한 것이다.

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