진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법

출원번호 : 10-2007-0111918

등록번호 : 10-0946312

특허권자 : 충남대학교산학협력단

요약 : 본 발명은 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 분말 야금법에 의한 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟 제조 방법에 있어서 소결단계가 A) 종위 위에 접착제층을 형성하는 단계; B) 상기 접착제 층에 세터 분말을 뿌려 세터 분말층을 형성하는 단계; C) 상기 B) 단계에서 접착체에 접착되지 않은 과량의 세터 분말을 제거하는 단계; 및 D) 기판 위에 세터 분말 층이 위로 향하도록 세터 분말이 도포된 종이를 놓고 그 위에 성형체를 위치시킨 후 소성로에서 소결하는 단계;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명으로 제조된 타겟은 휨이 거의 없으며 그에 따라 정해진 규격을 맞추기 위한 후공정인 내,외경 연삭의 량과 시간을 절약하여 코스트를 줄일 수 있을 뿐 아니라, 연삭으로 인한 폐기물의 배출량을 줄여 환경적인 측면에도 이점이 있다.

대표청구항 : 1) 금속 또는 세라믹 분말 제조 단계; 2) 상기 금속 또는 세라믹 분말의 압축·성형에 의한 성형체를 제조 단계; 3) 상기 성형체의 소결 단계; 및 4) 소결된 성형체의 이차 가공단계;로 이루어진 분말야금법에 의한 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법에 있어서, 상기 소결단계가, A) 종이 위에 접착제층을 형성하는 단계; B) 상기 접착제 층에 세터 분말을 뿌려 세터 분말층을 형성하는 단계; C) 상기 B) 단계에서 접착체에 접착되지 않은 과량의 세터 분말을 제거하는 단계; 및 D) 기판 위에 세터 분말 층이 위로 향하도록 세터 분말이 도포된 종이를 놓고 그 위에 성형체를 위치시킨 후 소성로에서 소결하는 단계; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 진공증착 장비용 세라믹 및 금속 타겟의 제조 방법.

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