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출원번호 : 10-2015-0034647
등록번호 : 10-15813030000
요약 : 본 발명은 반도체 제조 공정 중 모니터 웨이퍼에서 오염물을 분석하는 장치로, 샘플 용액을 스캔 후 분석하고, 재활용 유닛을 통해 웨이퍼를 재활용하여 비용을 절감하는 효과가 있습니다.
1020150034647
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