출원번호 : 10-2011-0104714 (출원일: 2011-10-13)
등록번호 : 10-1331137 (등록일: 2013-11-13)
특허권자 : 충남대학교산학협력단
요약 : 나노입자발생부와 나노입자 증착 및 코팅 막 형성 부를 마련하여 상온·상압에서의 코어-쉘 와이어에 의한 나노입자의 발생 및 그를 이용한 나노입자의 증착·코팅 막 형성 장치 및 방법에 관한 것으로, 발생된 나노입자를 처리하는 장치는 상기 반응 챔버 내에 장착되고 상기 나노입자를 발생하는 나노입자 발생부, 상기 반응 챔버 내에 장착되고, 상기 나노입자 발생부로부터 유입된 나노입자를 기판상에 증착 또는 코팅하는 나노입자 처리부를 포함하는 구성을 마련한다. 상기와 같은 코어-쉘 와이어에 의한 나노입자의 발생 및 그를 이용한 나노입자의 처리 장치 및 방법을 이용하는 것에 의해, 상온·상압에서 운용하면서 나노입자의 발생·증착·코팅 막 형성을 할 수 있다.
대표청구항 : 반응 챔버 내에서 나노입자를 발생하고, 발생된 나노입자를 처리하는 장치로서,상기 반응 챔버 내에 장착되고, 상기 나노입자를 발생하는 나노입자 발생부, 상기 반응 챔버 내에 장착되고, 상기 나노입자 발생부로부터 유입된 나노입자를 기판상에 증착 또는 코팅하는 나노입자 처리부 및상기 나노입자 발생부 및 나노입자 처리부를 제어하는 제어부를 포함하고,상기 제어부는 상기 나노입자 발생부에 공급되는 전류를 제어하는 전류제어부, 상기 반응 챔버로 공급되는 작동 유체의 속도를 제어하는 유속 제어부 및 상기 기판의 온도를 제어하는 온도 제어수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
상세링크 : http://newsd.wips.co.kr/wipslink/api/dkrdshtm.wips?skey=3513472001233
