향상된 댐핑 기능을 갖는 수평 리니어 모터 스테이지 장치 및 그 모터 스테이지 장치를 이용한 댐핑 방법 (Linear motor stage apparatus with improved damping and damping method thereof)

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본 발명은 향상된 댐핑 기능을 갖는 수평 리니어 모터 스테이지 장치 및 그 모터 스테이지 장치를 이용한 댐핑 방법에 관한 것으로 석정반의 상부 양측에 설치되는 가이드부재의 전방측 단부에 탄성 댐핑부재를 설치하여 그 댐핑부재에 슬라이더부재에 의한 충격이 전달되면 슬라이더부재의 진행방향으로 탄성후진되면서 슬라이더부재의 충격력을 흡수함과 아울러, 가이드부재와 댐핑부재 사이에 완충부재를 설치하여 슬라이더부재의 충격력에 의한 탄성판의 후방 탄성휨을 전방측으로 복귀시키도록 함으로써 댐핑부재 및 슬라이더부재의 파손을 방지하도록 하기 위하여, 지면에 설치되며 상부면이 수평되도록 설치되는 석정반(10); 상기 석정반(10)의 상부 양측에 설치되는 가이드부재(20); 상기 가이드부재(20)의 상부 양측에 평행하게 설치되는 한 쌍의 레일(21); 상부에 측정부재(32)가 장착되어, 상기 한 쌍의 레일(21)을 따라 직선 이동되는 슬라이더부재(30);를 포함하며, 상기 가이드부재(20)의 전방측 단부(20a)에 이격 설치되어지되, 가이드부재(20)의 전방측 단부(20a)에 수직하게 이격 설치되는 판 형태의 탄성판(56)과, 상기 탄성판(56)의 하부측으로 연장 형성되어 석정반(10)을 관통하여 그 단부가 석정반(10)의 하부면에 고정되는 매설고정판(52)과, 상기 탄성판(56)의 후방측으로 수평 연장되어 석정반(10)의 상부면에 밀착 고정되는 후방지지판(54)과, 상기 슬라이더부재(30)의 이동방향에 대향하는 탄성판(56)의 상부 전면에 설치되어 슬라이더부재(30)에 마찰되는 댐퍼(70)로 구성되어 상기 슬라이더부재(30)에 의한 이동에 따른 충격이 전달되면 슬라이더부재(30)의 진행방향으로 탄성후진되면서 슬라이더부재(30)의 충격력을 흡수하도록 하는 댐핑부재(50)가 구비되고, 상기 댐핑부재(50)의 탄성작동판(56)과, 그 탄성작동판(56)에 마주하는 가이드부재(20)의 전방측 단부(20a) 사이에 완충부재(60)가 연결 구비되어, 상기 슬라이더부재(30)의 충격력에 의한 탄성작동판(56)의 후방 탄성휨을 전방측으로 복귀시키도록 구성하며, 상기 매설고정판(52)은 석정반(10)에 형성된 수직관통공(12)에 삽입 관통되어지되, 매설고정판(52)의 외주연에 탄성패드(53)가 부착되어, 상기 매설고정판(52)과 수직관통공(12)의 내면에 탄성마찰이 이루어지도록 구성하는 것을 특징으로 한다.

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출원번호 : 10-2017-0184735 (2017.12.29)

등록번호 : 10-18421460000 (2018.03.20)

요약 : 본 발명은 향상된 댐핑 기능을 갖는 수평 리니어 모터 스테이지 장치 및 그 모터 스테이지 장치를 이용한 댐핑 방법에 관한 것으로 석정반의 상부 양측에 설치되는 가이드부재의 전방측 단부에 탄성 댐핑부재를 설치하여 그 댐핑부재에 슬라이더부재에 의한 충격이 전달되면 슬라이더부재의 진행방향으로 탄성후진되면서 슬라이더부재의 충격력을 흡수함과 아울러, 가이드부재와 댐핑부재 사이에 완충부재를 설치하여 슬라이더부재의 충격력에 의한 탄성판의 후방 탄성휨을 전방측으로 복귀시키도록 함으로써 댐핑부재 및 슬라이더부재의 파손을 방지하도록 하기 위하여, 지면에 설치되며 상부면이 수평되도록 설치되는 석정반(10); 상기 석정반(10)의 상부 양측에 설치되는 가이드부재(20); 상기 가이드부재(20)의 상부 양측에 평행하게 설치되는 한 쌍의 레일(21); 상부에 측정부재(32)가 장착되어, 상기 한 쌍의 레일(21)을 따라 직선 이동되는 슬라이더부재(30);를 포함하며, 상기 가이드부재(20)의 전방측 단부(20a)에 이격 설치되어지되, 가이드부재(20)의 전방측 단부(20a)에 수직하게 이격 설치되는 판 형태의 탄성판(56)과, 상기 탄성판(56)의 하부측으로 연장 형성되어 석정반(10)을 관통하여 그 단부가 석정반(10)의 하부면에 고정되는 매설고정판(52)과, 상기 탄성판(56)의 후방측으로 수평 연장되어 석정반(10)의 상부면에 밀착 고정되는 후방지지판(54)과, 상기 슬라이더부재(30)의 이동방향에 대향하는 탄성판(56)의 상부 전면에 설치되어 슬라이더부재(30)에 마찰되는 댐퍼(70)로 구성되어 상기 슬라이더부재(30)에 의한 이동에 따른 충격이 전달되면 슬라이더부재(30)의 진행방향으로 탄성후진되면서 슬라이더부재(30)의 충격력을 흡수하도록 하는 댐핑부재(50)가 구비되고, 상기 댐핑부재(50)의 탄성작동판(56)과, 그 탄성작동판(56)에 마주하는 가이드부재(20)의 전방측 단부(20a) 사이에 완충부재(60)가 연결 구비되어, 상기 슬라이더부재(30)의 충격력에 의한 탄성작동판(56)의 후방 탄성휨을 전방측으로 복귀시키도록 구성하며, 상기 매설고정판(52)은 석정반(10)에 형성된 수직관통공(12)에 삽입 관통되어지되, 매설고정판(52)의 외주연에 탄성패드(53)가 부착되어, 상기 매설고정판(52)과 수직관통공(12)의 내면에 탄성마찰이 이루어지도록 구성하는 것을 특징으로 한다.

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